THEציוד גלאי ואקום מפסקמשמש בעיקר למדידה כמותית של תואר הוואקום בסוגים שונים של תאי כיבוי מתג ואקום. הוא משתמש במחשב שבב - יחיד כיחידת הבקרה הראשית, ותהליך הבדיקה אוטומטי לחלוטין. באופן עקרוני, היא משנה את שיטת הכיול של מוצרים דומים בבית ובחו"ל באמצעות ערך שיא נוכחי, ומשתמשת בטעינה של יונים לצורך כיול, תוך דיכוי יעיל של הפרעה של אספקת חשמל לדופק במהלך תהליך הבדיקה, מה שהופך את הבדיקה ליציבה ואמינה יותר.
THEמפסק אבק מפסק ציוד גלאי ואקוםמשתמש בשיטת פריקת מגנטרון למדידה. משוך את שני המגעים של מתג הוואקום קשת כיבוי תא מטען במרחק מסוים, יש למרוח דופק שדה חשמלי מתח גבוה, הניח את תא הכיבוי של הקשת בתוך סליל הסולנואיד או הניח את הסליל האלקטרומגנטי החדש מחוץ לתא הכיבוי של הקשת, ויישם זרם גדול על הסליל כדי לייצר שדה מגנטי גלוי בסינכיה עם השטח הגבוה. באופן זה, בפעולה של שדה מגנטי חזק ופועם ושדה חשמלי חזק, היונים הטעונים בתא הכיבוי של קשת עוברים תנועת ספירלה ומתנגשים עם מולקולות גז שיריות ליינון. זרם היון המתקבל הוא פרופורציונלי בערך לצפיפות הגז הנותר, כלומר תואר ואקום. עבור דגמי צינור ואקום שונים (סוגי צינורות), בשל המבנים השונים שלהם, גודל זרם היון משתנה תחת אותו מרחק מגע, דרגת ואקום, שדות חשמליים ומגנטיים. ניתן לכייל את עקומת היחסים המקבילה בין תואר ואקום לזרם יון של סוגי צינורות שונים באמצעות ניסויים. לאחר מדידת זרם היון, ניתן להשיג את דרגת הוואקום מסוג הצינור על ידי שאילתת עקומת דרגת הוואקום זרם היון מסוג הצינור.
בבדיקת דרגת הוואקום של תא הכבייה של קשת בפריקת מגנטרון קונבנציונאלית, על מנת לשפר את רגישות הבדיקה שלו, יש להסיר את תא הכיבוי של קשת מהפסקת המפסק ולהניח בתוך צינור הסולנואיד. בדרך זו, תא המטא של קשת צריך להתאים את הפרמטרים המכניים בעת התקנת מחדש של מפסק החשמל, הדורש הרבה עבודה ואנשי מקצוע מקצועיים. השימוש בסוג חדש של סליל מגנטי יכול להקיף את תא הכיבוי של קשת מהצד, כך שאין צורך לפרק את תא הכיבוי של קשת. על ידי שימוש במחשב מיקרו -שופט של מיקרו -שיא של - יחיד לבקרה סינכרונית ורכישת נתונים ועיבוד נתונים, רגישות של בדיקת אתרים on {}}} של תואר הוואקום בתא הכבה של ARC.





